マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS 気流せh断応力センサ

摘要

流体が物体表面を流れる際に生じる壁面せh断応力の計 測は、流体中を運動する物体に働く摩擦抵抗を評価するた めに不可欠な要素である。 せh断応力計測のための数多くの方法が提案されてき た。従来の研究では速度分布の相似性を利用するプレスト ン管法など間接的な方法が主流であった(1)。これらの方法は せh断応力の時間変動を検出することが困難だった。周波 数応答の高いホットワイヤやホットフィルムなど熱感知式 のMEMS センサの研究も進hできているが(2)(3)、温度をせ h断応力に変換するため、両者が同時に変化する環境での 動作は難しい。そのためせh断応力のみを外的要因から分 離して直接計測する方法が求められている。