マイクロピラーアレイを用いた高感度MEMS 気流せん断応力センサ

摘要

流体が物体表面を流れる際に生じる壁面せん断応力の計rn測は、流体中を運動する物体に働く摩擦抵抗を評価するたrnめに不可欠な要素である。rnせん断応力計測のための数多くの方法が提案されてきrnた。従来の研究では速度分布の相似性を利用するプレストrnン管法など間接的な方法が主流であった(1)。これらの方法はrnせん断応力の時間変動を検出することが困難だった。周波rn数応答の高いホットワイヤやホットフィルムなど熱感知式rnのMEMS センサの研究も進んできているが(2)(3)、温度をせrnん断応力に変換するため、両者が同時に変化する環境でのrn動作は難しい。そのためせん断応力のみを外的要因から分rn離して直接計測する方法が求められている。