金属基材薄膜センサ素子用塗布型粘土絶縁膜

摘要

高い耐熱性、密着性、ガスバリア性ならぴに基材追従性 を示す、全く新しい金属用無機系塗布型粘土絶縁膜の開発 を行い、良好な絶縁性ならぴに表面平滑化の機能を確認するとともに、その絶縁膜を用いたCr-N薄膜ひずみセンサを 試作し、安定なひずみ計測が可能であることを明らかにした。その粘土膜は、簡便に形成できる低ザ画格な絶縁膜とし て極めて有望であり、センサ薄膜に限らず機能性薄膜全般 に用いられると共に、導電金属の絶縁被膜や一般金属の表 面コーティング剤としても広く利用されていくと考えられる。