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シリコンMOSゲートSiO2膜欠陥の詳細解析および水素による絶縁膜劣化モデリング

机译：硅MOS栅极SiO2膜缺陷的详细分析和氢绝缘膜退化的建模。

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筑波大学 (University of Tsukuba)

机译：筑波大学

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作者
東悠介; ヒガシユウスケ;
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年度 2017
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机译：硅MOS栅极SiO2膜缺陷的详细分析和氢绝缘膜退化的建模。

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