Spin on hardmask; multiple patterning; etch resistance; gap-fill; planarization;
机译:碳基可旋转有机硬掩模的亚50纳米纳米图案
机译:低于70 nm器件的旋转有机硬掩模的新材料
机译:JSR旋转式硬掩模FF-02的特性
机译:碳基旋涂硬掩模的自平坦化性能
机译:用于神经形态CMOS芯片的旋转玻璃和基于3A基于抗蚀剂的平面化技术
机译:高性能石墨烯液体的自平坦化水合结晶纤维
机译:基于富勒烯衍生物的旋转碳作为高纵横比蚀刻的硬掩模材料
机译:碳基热熔玻璃基板的性能。 2,在大气压下的氢气涂层性能研究