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SILICON-BASED HARDMASK COMPOSITION (SI-SOH; SI-BASED SPIN-ON HARDMASK) AND PROCESS OF PRODUCING SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT DEVICE USING THE SAME

机译：基于硅的硬核成分（SI-SOH;基于SI的旋涂硬核）以及使用相同的半导体集成电路装置的制造过程

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A silicon-based hardmask composition, including an organosilane polymer represented by Formula 1: {(SiO1.5-Y-SiO1.5)x(R3SiO1.5)y(XSiO1.5)z}(OH)e(OR6)f(1).

机译：一种硅基硬掩模组合物，包括由式1表示的有机硅烷聚合物：{（SiO1.5-Y-SiO1.5）x（R3SiO1.5）y（XSiO1.5）z}（OH）e（OR6）f （1）。

著录项

公开/公告号EP2229607A2

专利类型
公开/公告日2010-09-22

原文格式PDF
申请/专利权人 CHEIL INDUSTRIES INC.;
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申请/专利号EP20080869469
发明设计人 KIM SANG KYUN;CHO HYEON MO;KOH SANG RAN;KIM MI YOUNG;YUN HUI CHAN;CHUNG YONG JIN;KIM JONG SEOB;
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申请日2008-12-31
分类号G03F7/11;
国家 EP
入库时间 2022-08-21 18:34:25

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