公开/公告号CN104952707B
专利类型发明专利
公开/公告日2018-07-20
原文格式PDF
申请/专利权人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;
申请/专利号CN201410127662.5
发明设计人 周鸣;
申请日2014-03-31
分类号
代理机构北京康信知识产权代理有限责任公司;
代理人吴贵明
地址 201203 上海市浦东新区张江路18号
入库时间 2022-08-23 10:14:07
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2018-07-20
授权
授权
2015-11-04
实质审查的生效 IPC(主分类):H01L21/033 申请日:20140331
实质审查的生效
2015-09-30
公开
公开
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