机译:基于钛酸锆钛酸铅(PZT)的自驱动压电纳米机电谐振器的晶圆级制造
机译:用于质量传感应用的PZT(钛酸锆钛酸铅)桥形谐振器的制作与表征
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机译:压电铅锆钛酸钛酸盐(PZT)环形轮廓模式MEMS谐振器
机译:锆酸钛酸铅薄膜,用于压电激励和MEMS谐振器传感。
机译:锆钛酸铅(PZT)填充的聚合物衍生陶瓷(PDC)中的相变填料-基体相互作用和压电特性
机译:基于钛酸锆钛酸铅(PZT)的自驱动压电纳米机电谐振器的晶圆级制备
机译:基于锆钛酸铅(pZT)薄膜的压电mEms麦克风