机译:基于钛酸锆钛酸铅(PZT)的自驱动压电纳米机电谐振器的晶圆级制造
NEMS; PZT; large-scale integration;
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机译:基于钛酸锆钛酸铅(PZT)的自驱动压电纳米机电谐振器的晶圆级制备
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