机译:氦离子束处理对氮化硅刻蚀速率的影响
机译:氦离子束处理对二氧化硅湿法刻蚀的影响
机译:氦离子束在充电条件下从绝缘氮化硅膜引起的电子发射
机译:氦离子束增强了氮化硅的局部蚀刻
机译:在感应耦合等离子体反应器中研究碳氟化合物沉积和蚀刻对硅和二氧化硅蚀刻工艺的影响(使用三氟化甲基),并开发了用于研究等离子体与表面相互作用机理的反应离子束系统。
机译:基于实验的轮廓函数用于计算氦聚焦离子束过程引起的块状硅损伤分布
机译:氮化硅氢氟碳等离子体蚀刻中的氢气效应:CF +,CF2 +,CHF2 +和CH2F +离子的梁研究
机译:射频等离子体增强气相沉积和氮化硅蚀刻。