SADP; EUV; lithography simulation;
机译:防重叠自对准双图案(SADP)布局分解的多项式时间精确算法
机译:具有EUV自对准双重图案化的关键亚30纳米间距Mx电平图案化的自对准阻挡集成演示
机译:自对准双图案化工艺用于45 nm节距的减法Ge鳍制造
机译:针对15nm半间距的基于间隔物的SADP(自对准双图案)仿真
机译:自对准双图案的蚀刻研究
机译:在自对准纳米图案有机晶体管中从弱注入转换为强注入
机译:三个Litho-Process-Litho在32nm半间距节点处的2D双图案化方法