Air-bearing displacement sensor; Surface profile measurement; Low loading measurement; On-machine measurement;
机译:具有纳米分辨率的三轴位移传感器
机译:含气位移传感器用于微结构在机表面形状测量的实验研究
机译:含气位移传感器用于微结构在机表面形状测量的实验研究
机译:纳米分辨率气浮位移传感器的改进
机译:具有纳米分辨率的基于激光干涉测量的位移传感器的设计和验证。
机译:FBG挠性位移测量柔性传感器的设计优化与改进
机译:基于光学反馈干涉测量的纳米精度用作非均匀事件的采样系统,子λ/ 2位移传感器
机译:亚微米分辨率单片电容式位移传感器,带数字输出。总结报告。