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机译:具有纳米分辨率的三轴位移传感器
Metrology; Sensor; Displacement;
机译:具有纳米分辨率的三轴位移传感器
机译:基于光学反馈干涉测量的纳米精度用作非均匀事件的采样系统,子λ/ 2位移传感器
机译:EFPI传感器系统的振幅和相位漂移校正,同时使用自适应卡尔曼滤波器和温度补偿进行纳米位移估计
机译:纳米分辨率气浮位移传感器的改进
机译:具有纳米分辨率的基于激光干涉测量的位移传感器的设计和验证。
机译:勘误表:HanD.-H .;康L.H.千分尺分辨率和厘米动态范围的太赫兹位移和厚度传感器
机译:基于衍射光束干扰的三轴位移传感器
机译:亚微米分辨率单片电容式位移传感器,带数字输出。总结报告。