nanodiamond; sol-gel polishing pad; silicon wafer;
机译:通过溶胶-凝胶法制备的纳米二氧化硅颗粒的研磨性能
机译:溶胶-凝胶法制备的纳米二氧化硅颗粒的研磨性能,用于抛光硅片
机译:通过整合抛光时间分析模型和特定倒力能源理论建立硅晶片化学机械抛光磨削深度的理论模型
机译:用溶胶 - 凝胶技术制备的纳米胺磨料工具抛光硅晶片
机译:化学机械抛光中垫-磨料-晶片接触的力学
机译:通过使用自掩膜蚀刻技术在晶圆表面形成纳米级金字塔提高多晶硅晶圆太阳能电池效率
机译:磨料加工和抛光技术。硅晶片的化学机械抛光技术。