Hybride Integration von Silicium- und LTCC Technologie zur Herstellung verstimmbarer Zylinderlinsen

摘要

Nanokristallines Aluminiumnitrid (AlN) zeichnet sich unter anderem durch seine mechanische Stabilitat und Transparenz im visuellen Spektrum aus. Dies macht einen Einsatz des Materials fur Membranlinsen moglich. Das hier vorgestellte Design ermoglicht eine zylindrische Auslenkung der Membran in einem optisch nutzbaren Bereich von 3×3 mm~2. Zum kompakten Aufbau von zwei gekreuzten verstimmbaren Zylinderlinsen wird eine hybride Integration von Silicium und LTCC ("low temperature co-fired ceramics") Technologie angewendet. Wahrend der Formung eines Laserstrahls macht die individuelle Ansteuerung der Linsen kreisrunde und elliptische Strahlprofile beliebiger Grosse moglich.