基于硅-相变材料混合集成硅波导的多级非易失性光衰减器

摘要

一种基于硅‑相变材料混合集成硅波导的多级非易失性光衰减器，制作在绝缘体硅基片上,所述的绝缘体硅基片包含底层本征硅层、中间绝缘体层和上面的第二本征硅层，在第二本征层中形成硅波导，在硅波导有源区的部分进行掺杂，形成掺杂波导区域，再在掺杂波导区域的部分区域和硅波导有源区部分区域的顶部依次沉积相变材料层和上电极层，整体结构再覆盖一定厚度的上包层，所述的掺杂硅波导和上电极层通过通孔与位于所述的上包层外的阳极金属平板和阴极金属平板相连接。本发明多级光衰减器具有读写速度快(ns量级)、循环次数高(>10