Polycrystalline silicon; Multilayer structure; Gettering; Chemical vapor deposition;
机译:具有增强的热稳定性的多晶硅层
机译:使用TiN和非晶硅中间层改善化学气相沉积CoSi_2 /多晶硅的热稳定性
机译:锑和掺硼衬底上未掺杂多晶硅层的热稳定性
机译:具有增强的热稳定性的多晶硅层
机译:热诱导不稳定性以增强热源和尖端的边界层湍流强度,以产生边界层湍流强度和控制
机译:新型聚乙氧基倍半硅氧烷的合成及其热稳定性增强的三元氧氮化硅陶瓷的热转化
机译:靠近聚阳亚微晶金刚石薄膜,沉积在硅上:氢键和热增强碳化物形成