Ion implantation; Plasma; SiC; Nitrogen; SIMS; RBS/C; Infra Red Reflectivity;
机译:4H-SiC外延层中标准原子注入和等离子体注入氮原子产生的缺陷的研究
机译:等离子体浸没离子注入铝合金表面层充氮离子的摩擦学行为
机译:使用等离子体浸没离子植入钻石中浅层空位色中心的浅层工程
机译:4H-SIC外延层中氮原子的植入:标准化和等离子体浸渍过程的比较
机译:使用等离子体浸没离子注入和外延二硅化钴作为掺杂源的超浅结制造。
机译:等离子体浸没离子注入技术对金刚石中氮空位色中心浅层的工程化
机译:P和Al植入4H-SIC外延层的激光退火
机译:等离子体诱导损伤对离子注入Gaas mEsFET在反应离子刻蚀(RIE)和等离子体灰化过程中通道层的影响。