ルビジウム飽和吸収を用いた780nm帯DBR周波数安定化レーザの開発と変位計測への応用

摘要

超微細加工技術の進展に伴い，加工精度にナノメートル（nm）以下を要求する事例が増えている．加工精度は相対的なものでなく絶対的となり，かつ製品寸法の大きさに無関係になるものと予想する．比較的大きな寸法（1mオーダ）の製品でも将来的には全体の絶対加工精度にnm以下を要求する時代が来る（例えばEUVリソグラフィ投影ミラーの寸法と形状公差はそれぞれ1mオーダ，10pmである）．もし最大1mの任意の長さを10pmオーダ不確かさで，絶対計測すれば，革新的工業製品の創成が可能である．