シータ管ナノピペットを用いた走査型イオン伝導顕微鏡による液中環境での電気泳動堆積法の開発

摘要

近年，微小電気機械システム（Micro Electro Mechanical System: MEMS）のような微細デバイスへの応用のために 3 次元微細構造物の作製に関心が高まっている．微細加工技術としてフォトリソグラフィーや集束イオンビーム (Focused Ion Beam: FIB)が広く用いられている．しかしながら，フォトリソグラフィーは加工プロセスが複雑なことや FIB は真空環境を要するため装置が高価である．したがって，シンプルで安価な微細加工技術の開発が望まれている．