集束イオンビーム（FIB）を応用したダイヤモンド切削工具の作製とその切削加工特性（第5報）－テクスチャ形状の最適化

摘要

本研究では，高精度な微細加工が可能なFIBに着目し，これを用いた超精密加工用工具の開発を目的とする．既報では，FIB照射と熱処理を併用して，単結晶ダイヤモンド工具に微細なテクスチャを作製した．これを用いて加工実験を行った結果，テクスチャを作製することで工具·被削材間の摩擦が減少し，加工特性を改善できることを明らかにした．本報では，テクスチャ形状の最適化を目的として，テクスチャの位置を変化させた実験を行い，その影響について検討した．