集束イオンビームを応用したテクスチャを有するダイヤモンド工具の作製とその加工特性

摘要

一方，固体表面に微細なテクスチャを作製することで，表面の摩擦特性を制御できることが知られている．筆者らはこの原理を応用して，表面に微細なテクスチャを有する切削工具を提案し，その効果について検討してきた．これらの研究ではフェムト秒レーザを利用して，超硬工具などの表面にマイクロ·ナノメートルオーダの微細なテクスチャを作製した．これによって，工具·被削材間の摩擦が減少し，工具の加工特性を改善できることを示した．これらの技術をダイヤモンド工具に適用することで，超精密切削加工においても加工特性の改善が可能となる．本稿では，筆者らが行っている集束イオンビーム（PIB：Focused Ion Beam）を利用した微細なテクスチャを有するダイヤモンド切削工具の開発について，テクスチャの作製やその効果の各種加工条件依存性について検討した事例を紹介する．