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高強度レーザパルスによる非線形効果を用いた角度計測法に関する研究: 第2報:光線追跡による第2高調波の角度特性の解明

机译:高强度激光脉冲使用非线性效果的角度测量方法研究:第2次报告:射线跟踪阐明二次谐波的角度特征

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摘要

超精密加工の高精度化,微細化に伴い,超精密加工に用いられる精密移動ステージの運動誤差の計測や,高精度非球面·自由曲面の形状計測においては,角度変位を高精度に計測するニーズが高まっている.これらの用途に用いられる角度センサとして,オートコリメーションや臨界角の原理に基づくレーザを用いた光学式角度センサが開発されており,高分解能な角度計測が行われている.
机译:具有高精度加工的高精度和小型化,测量用于超精密加工的精密移动台的运动误差,高精度非球面和自由弯曲的形状测量,以高精度测量的角度位移越来越多。作为用于这些应用的角度传感器,开发了使用基于自动准直的原理的激光和临界角度的光学角度传感器,并且执行高分辨率角度测量。

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