コントラストピークを用いたマイクロエンドミルの非接触位置検出方法の開発（第3報） オンマシン測定装置の試作とサンプルの加工

摘要

本研究では，マイクロ工具の底刃（Z 軸）側から金属顕微鏡で画像を得て，そのコントラストのピーク位置を検出することによって，Z 軸方向の刃先位置を高精度に検出する．また，X 軸，Y 軸方向の位置は，得られたマイクロ工具の画像から位置検出するという方法を提案する．第１報では，検出原理の確認，研削面を対象としたZ軸方向の位置検出を高精度に検出した結果を報告した．第2 報では，実際のマイクロエンドミルのZ 軸方向の位置検出を行った結果と，XY 軸方向の検出プロセスの開発を行い，その繰り返し精度を求めた結果を報告した．本報では，試作したオンマシン刃先位置測定装置を用い，階段形状の加工によりＺ軸方向の刃先位置測定の正確さを確認する．また，前報告までに用いてきた工具の材質は，超硬合金のみであった．本報では，ダイアモンドや，ＣＢＮやアルミナコーティングされた材料など数種の工具表面の観察結果と画像のコントラスト状態を確認し，コントラストピーク検出の可否を評価した結果を報告する．