超音波援用研磨による高ＮＡマイクロ非球面金型の超精密研磨－同時４軸（Ｘ，Ｙ，Ｚ，Ｂ）制御の研磨装置の開発

摘要

本研究では，これまで直線振動を用いた超音波援用研磨法を開発し，従来の回転工具等を用いた研磨法では自動化が困難であった直径2 mm 以下のマイクロ非球面金型に対し研磨加工の自動化を可能とした．この研磨法により軸対称マイクロ金型の表面精度の向上を実現した．さらに近年，Blu-ray Disc 用のピックアップレンズなどを対象に高NA 化が進hでおり，大きな傾斜角をもつ金型に対する高精度な加工の需要が高まっている．そこで本報では，より高NA レンズ用金型の自動超精密研磨加工に対応するため，従来の同時3 軸（X，Y，Z）制御の超音波援用研磨装置にB軸チルトテーブルを搭載した同時４軸制御の超音波援用研磨装置を開発し，その効果について評価した．