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【24h】

新型リニアモータ·トンネルアクチュエータとリニアボールガイドを組合せた高速ナノ位置決め装置

机译:新型线性电机隧道执行器和线性球导向的高速纳米定位装置

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摘要

ボールねじに代りリニアモータは位置決め装置駆動用に用いられつつあるが,ボールねじに比べていくつかの欠点がある.そのうちの一つは外部からの力の変動の影響をうけやすい点と,電機子と磁石の間の吸引力が最大推力の3~5 倍もあることであり,リニアガイドに大きな負担がかかる.最近はその影響を避けるためリニアモータと摩擦力の殆どない空気·油静圧軸受を組合せた位置決め装置が出現している.本研究の目的は,電機子と磁石間の吸引力のない新型リニアモータ(㈱日立製作所 日立研究所開発)とリニアボールガイドを組合せて次の2 種類の高速·超精密位置決め装置を開発することである.
机译:而不是滚珠丝杠,线性电动机用于定位装置驱动,但与滚珠丝杠相比具有一些缺点。其中一个是容易影响外力的波动,电枢和磁体之间的吸力是最大推力的3至5倍,以及线性导向器上的主要负担。最近,将线性电动机的定位装置和具有空气和油稳定的静态轴承的定位装置,其具有摩擦力,以避免其影响。本研究的目的是开发以下两种高速和超精密定位装置,与新的线性电机(日立日立日立有限公司的开发)组合使用,线性球导轨没有武装和磁铁之间的吸力是。

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