3D (Three-dimensional) interconnect; optical direct-writing; infra-red alignment system;
机译:双光子3D光刻:在创新工业应用范围内的复杂3D形状和光学互连的通用制造方法
机译:三维板对板自由空间光学互连及其在原型多处理器系统中的应用-COSINE-III
机译:无掩模光刻系统中使用的光学互连的无损高速数据压缩
机译:使用光学直写曝光系统进行3D(三维)互连的新型光刻工艺
机译:Silicon-CMOS BEOL兼容的材料系统和片上光学互连组件的处理。
机译:通过单次运行方法打印的纳米粒子墨水直写过程和无裂纹纳米铜互连中的结构继承
机译:一维平面石英透镜集成的3D光学互连系统–透镜集成面朝下的45°微镜的制造技术