In-Situ Erzeugung von Arrays aus metallischen Mikro- und Nanodrahten in Silizium-Mikrosystemen

摘要

Metallische Mikro- und Nanodrahte sind fur eine Vielzahl von Mikrosystemen wie Mikroschalter, Bio-MEMS und Mikrosensoren interessant. In dieser Arbeit wird ein Prozess vorgestellt, der es ermoglicht, Arrays aus metallischen Mikro- und Nanodrahten in-situ in einem Mikrosystem zu erzeugen. Dabei kommt das inzwischen weit entwickelte Ionenspuratzverfahren [1] zum Einsatz. Durch den entwickelten Prozess entfallt jeglicher Fuge- und Montageschritt zur Integration der Mikro- und Nanodrahte. Dadurch konnen Mikrosysteme, die Mikro- bzw. Nanodrahtarrays als Funktionselemente benotigen, in einem Batchprozess hergestellt werden.