'Glas Gras' in Kieselglas fur neue Integrationsmoglichkeiten in MEMS, MOEMS und BIOMEMS

摘要

Selbstorganisationsprozesse in Niederdruckplasmen erzeugen unerwunschte Oberflachenrauheiten und stochastische Nanostrukturen. Die Nutzung und Kontrolle solcher Effekte fur etablierte Technologieablaufe von MEMS, MOEMS und BioMEMS eroffnet neue Moglichkeiten der Systemintegration. Die Erzeugung selbstmaskierender Nanodots in Verbindung mit subtraktiven Verfahren fuhren zu homogenen, nadelformigen Strukturen in Silizium, sogenanntes "Black Silicon", und werden bereits in katalytischen, mikrooptischen, sowie mechanischen Mikro- und Nanosystemen eingesetzt. In diesem Beitrag werden geometrisch ahnliche Strukturen aus Kieselglas vorgestellt, die eine Ubertragung von "Black Silicon"-Anwendungen auf dieses wichtige Basismaterial der Mikrotechnik erlauben. Nach einer eingehenden Parameterstudie konnen nun die morphologischen Eigenschaften gezielt eingestellt und zusatzlich eine noch grossere geometrische Bandbreite im Vergleich zu Silizium erreicht werden.