CVD diamond films; Free abrasive polishing; Fixation abrasive polishing; Membrane on the membrane polishing;
机译:通过化学机械抛光,表面转化反应和高效研磨CVD金刚石膜
机译:形成核表面和生长表面的CVD金刚石膜的机械抛光研究
机译:等离子蚀刻增强机械抛光,用于CVD金刚石膜
机译:CVD金刚石薄膜加工特性及机械抛光技术调查
机译:用于MEMS封装的CVD多晶金刚石(poly-C)薄膜技术。
机译:浆料组成对金刚石薄膜化学机械抛光的影响
机译:CVD金刚石薄膜的等离子蚀刻增强机械抛光