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丁桂甫; 曹莹; 李新永; 蒋振新;
上海交通大学,微纳米科学技术研究院,上海,200030;
金刚石薄膜; 微机械加工技术; 反应离子刻蚀;
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机译:用于微通道冷却的纳米和微晶CVD金刚石薄膜:热和弹性
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机译:金刚石薄膜上碳纳米管生长的三种不同化学气相沉积(CVD)技术的比较研究。
机译:制造自由静态CVD多晶金刚石薄膜的装置和方法
机译:一种主要尺寸约为一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
机译:一种主要尺寸约为所用微波的一个波长的自立式微波等离子体CVD多晶金刚石薄膜的制造方法
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