eigenvalue; phase; rotating carrier; silicon micromachined gyroscope;
机译:气流和驱动力在分模硅微机械线性振动陀螺仪中引起的同相耦合力
机译:旋转载体驱动的硅微机械陀螺的结构原理
机译:同相和反相微机械z轴振动陀螺仪中的基板能量耗散机制
机译:无驱动结构硅微机械陀螺仪的相处理
机译:每小时度模式匹配的微机械硅振动陀螺仪。
机译:用于微机械陀螺仪的标准CMOS工艺中的调节温度不敏感高压电荷泵
机译:硅微机械陀螺振动行为的能量耗散贡献建模
机译:波导结构与表面微机械多晶硅执行器的单片集成