熟フィラメントCVDによる固体ホウ素源を用いたCVDダイヤモンド基板上へのBトブダイヤモンドの合成

摘要

ダイヤモンドは地球上に存在する物質の中で最も硬く、熱伝導に優れ、電気絶縁性など様々な樽性を有する。さらにBをドーピングすることでp型半導体になる.また、導入されるホウ素の濃度は面方位よって異なり、マイクロ波プラズマCVD法を用いた場合、（100）面でホウ素を最も含有することが可能である.