三フッ化塩素ガスを用いてハニカム状にテクスチャ処理を行ったシリコン太陽電池の光学的特性

摘要

シリコン太陽電池は変換効率の向上と低コスト化が望まれている中で、太陽電池表面を凹凸に加工するテクスチャ処理により、表面での反射損失を低減させることで効率を向上させる方法がある。　当研究室では、テクスチャ処理方法として三フッ化塩素（CIF_3）ガスを用いたドライエッチングによる方法を試みてきた。