silane-based primer; spin-on polymeric material; photosensitive etch protection coating; alkaline wet etching;
机译:通过湿法蚀刻技术悬浮在硅上的单晶氧化物结构:氧空位和脱位对蚀刻速率的影响
机译:用于硅的各向异性湿法刻蚀的旋涂式光敏聚合物刻蚀保护掩模
机译:用于硅的各向异性湿法刻蚀的旋涂式光敏聚合物刻蚀保护掩模
机译:硅湿蚀刻应用的光敏蚀刻保护涂层
机译:氮化硅薄膜的合成,表征及其在光纤上作为防氢渗透的气密涂层的应用
机译:用于垂直晶体管应用的磷掺杂硅/硅锗多层结构的生长和选择性蚀刻
机译:通过受控施加液体蚀刻剂的湿法蚀刻光学图
机译:通过液体蚀刻剂的受控应用来对光学进行WET-ETCH蚀刻