adaptive optics; deformable mirror;
机译:大块PZT驱动的MEMS变形镜的设计,制造和表征
机译:通过可变形反射镜对X射线束进行整形:所需反射镜轮廓的解析计算
机译:静电活塞阵列致动MEMS可变形镜的数学建模与分析
机译:MEMS变形镜可实现轮廓形状的表征
机译:用于眼睛自适应光学系统的MEMS变形镜的设计,制造和表征。
机译:用于天基高对比度成像的MEMS变形镜
机译:微电子机械系统(MEMS)变形镜的建模,用于仿真和表征
机译:用于仿真和表征的微电子机械系统(mEms)可变形镜的建模。