ルテニウムめっき膜の作製条件の検討と熱処理による特性変化

摘要

白金族元素のひとつであるルテニウムの応用分野は多岐に渡り拡大しつつあるが，応用技術が確立されていないケースが多い。低接触抵抗，耐摩耗性および耐食性に優れるルテニウムはめっき膜としてリードスイッチなど電子部品の摺動部に使用されている。　ルテニウムは水素過電圧が小さく，電折時の水素発生量が多い。そのため，析出被膜の応力が高くクラックが発生しやすくなり，膜厚が伸皿以下に制限される1）。このような理由から，水溶液ではなくイオン液体からのルテニウムの電肝も検討されている2）。一般にルテニウムめっき液には塩化ルテニウムなどを用いた3，4価のルテニウム塩が使用されている1）。当研究室では2価のルテニウムイオンからの電析について検討してきている。　本研究では2価のルテニウムイオンからルテニウム膜を作製し，熱処理による構造·特性変化を評価した。