钌系厚膜片式电阻器热处理工艺的研究

摘要

研究了热处理工艺对钌系厚膜电阻器的温度系数（ＴＣＲ）和短时间过负载性能的影响，发现适当的热处理工艺可以改善厚膜电阻器的电性能。为探讨热处理工艺对电阻膜层微观结构的影响，对热处理前后的电阻膜层进行了ＳＥＭ形貌分析。