RFスパッタリングによる磁石膜成膜での熟練者の思考プロセスの蓄積と見える化

摘要

近年、熟練技能者の高齢化や若年層の製造業離れなど、複合的な要因が重なり、熟練技能者の経験やノウハウを若年層に維持、伝承していくことが困難な状況になりつつある。このため、熟練作業者の持つ技能を形式化して、できるだけ容易に維持、継承する手段の開発が求められている。本報告では、即スパッタリングを用いた場合の磁石膜の高品質化に関わる影響項目と成膜条件パラメータとの相互の関係を分析して、階層分析法（Analytic Hierarchy Process：AHP）1）を用いることで数値化。定量化することで、熟練作業者の経験や考え方の維持および継承に利用できることを紹介する。