圧電薄膜の強誘電性ヒステリシス挙動評価（静的圧電弾性解析による寸法効果の調査）

摘要

本研究では，高精度な圧電薄膜特性評価試験法の確立を目的として，圧電弾性有限要素法により圧電薄膜積層板の変形挙動を解析し，変位応答と圧電薄膜特性の関係を明らかにする．本報では，シングルおよびダブル変位測定に及ぼす試験片寸法依存性を調査し，見かけの圧電ひずみ定数d_33の信憑性を検証する．