无铅铁电／压电薄膜材料的研究进展

摘要

微电子技术的迅猛发展和集成化程度的急速提升，致使铁电／压电薄膜材料愈来愈受到人们的关注与重视。本文从三方面介评了铅基和铋类铁电／压电薄膜材料的研究进展：（1）主要制备方法：脉冲激光熔融法（PLD）和金属有机物分解法（MOD）；（2）无铅铁电／压电薄膜微器件：铁电薄膜存储器和压电薄膜传感器；（3）铁电／压电薄膜及其微器件的可靠性。