angular measurement; integrated optics; micro-optomechanical devices; micromirrors; microsensors; motion measurement; optical sensors; photodiodes; semiconductor lasers; surface emitting lasers; 1 mm; 1.5 mm; VCSEL; beam divergence; external mirror; integrated optical;
机译:集成的微位移传感器,可测量外部镜的倾斜角度和线性运动
机译:一种用3D正弦槽线性反射光栅和三角波的细分方法测量精密线性级的倾斜运动,直线度和位置的方法
机译:高分辨率MEMS运动传感器可测量倾斜,冲击和加速度
机译:集成的微位移传感器,可以测量外部镜子的倾斜或线性运动
机译:使用线性化技术的用于大型金属MEMS反射镜阵列的集成CMOS电子驱动器。
机译:基于3D正弦槽线性反射光栅和基于三角波的细分方法测量精密线性平台的倾斜运动直线度和位置的方法
机译:一种与线性阵列探测装置集成的电气测量系统和用于气体传感器的光学登记系统
机译:用于图像运动补偿的提示/倾斜镜