基于电容传感器的F-P微位移测量系统的线性度比对装置

摘要

本实用新型公开了基于电容传感器的F‑P微位移测量系统的线性度比对装置。本实用新型中“工”形支架一端固定在光学平台上，F‑P标准具干涉测量系统放置在其上方，面阵器件布置在F‑P标准具干涉测量系统前且处于同一光轴中用于干涉成像，应力加载系统改变应力F的大小，电容传感器探头通过检测电容的变化量，从而根据电路模块得到矩形等截面梁的形变量。用F‑P标准具干涉测量系统和电容传感器得到相应的位移量，通过对二者线性度曲线的比较完成F‑P标准具微位移测量系统的线性度比对。本实用新型具有检测精度高，可同步完成两种方法的测量，适用于高准确度微位移测量系统的线性度比对。