micro-optomechanical devices; microswitches; optical switches; reliability; thermo-optical effects; mechanical movement; micromachined silicon hemispheres; micromechanical switches; optical switch; reliability; thermo-optic effect; total internal reflection;
机译:通过微加工硅棱镜的热光效应进行光切换
机译:通过共振隧穿效应进行热光切换的微加工光学双阱
机译:利用晶体硅的热光效应的微加工平面可调光学滤波器
机译:光开关使用微机械硅半球的热视光效应
机译:用于硅中高纵横比的微传感器和光学开关的干式微加工。
机译:使用热光效应对氮化硅石墨烯芯片上的光进行全光学控制
机译:微机械低功率Mach-Zehnder热光开关的设计优化
机译:用于光学开关和调制的有机硅聚合物非线性光学材料