水素化チタン微粉末を用いたチタンシリコンカーバイドの合成過程

摘要

微細結晶粒チタンシリコンカーバイドTi_3SiC_2の合成を目指して、微細な水素化チタン粉末を用いたTi_3，SiC_2の合成過程を調べる。水素化チタンTiHx微粉末（平均粒子径1．1μm）をSi粉末（同10.1μm）、TiC粉末（同1.33μm）と混合し、パルス通電加圧焼結装置と黒鉛型を用いて、真空中、50MPaの圧力下、1223～1723Kの温度まで昇温（10K/min）後、急冷（＞100K/min）した。焼結体についてX緑回折による相同定とSEM－EDXによる組織観察を行った。