マイクロソリッドジェットによる超高熱流束冷却と新型半導体レジストはく離システムの開発

摘要

特に，本研究により提案する新型冷却システムの壁面熱伝達特性を評価し，極低温SN_2噴霧冷却と液体窒素（LN_2）単相流噴霧冷却との比較検討を行った．さらに，PIA粒子画像計測法を用いてマイクロソリッド粒子の挙動を解析し，CFD融合計算結果との比較検討を行った．最後に，マイクロソリッド噴霧の超高熱流束急冷に基づくレジスト熱収縮効果ならびに超音波振動子を用いた氷核生成·固体窒素微粒化効果に基づく半導体洗浄への適用結果について報告する．