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【24h】

プラズマCVDによりDLCを全面被膜した単結晶シリコンマイクロ構造体の引張特性に及ぼす成膜バイアスの影響

机译:成膜偏压对单晶硅微结构拉伸性能的影响,其全表面涂覆DLC通过等离子体CVD

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摘要

DLC膜は成膜方法と成膜条件によって,膜中のsp2混成軌道をもつ炭素原子,sp3混成軌道をもつ炭素原子,及び水素原子の組成比が変化し,その膜質及び被覆された構造体の引張特性に大きく影響する.そこで本研究では5条件の成膜バイアスを用い,シリコン薄膜の引張試験片にプラズマCVDによりDLCを全面成膜し,その引張強度を評価する.成膜時基板バイアスが膜の構造と機械特性に与える影響,また試験片の引張強度及び強度ばらつきの改善について分析する.
机译:DLC膜具有具有SP2杂交膜轨道的碳原子,该膜在膜中具有SP2杂交轨道,在膜中具有SP3杂交晶体的杂化膜的碳原子,并且改变氢原子的组成比和薄膜质量和涂层结构极大地影响拉伸性能。 因此,在该研究中,使用5条条件的成膜偏压,并且DLC通过硅薄膜的拉伸试验片中的等离子体CVD完全形成,并评估其拉伸强度。 在成膜期间,衬底偏压对膜的结构和力学性能的影响,并分析了样品的抗拉强度的提高和强度变化。

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