CrN薄膜／アルミニウム基板界面の性状に及ぼすイオンボンバード処理の影響

机译：离子轰击处理对CRN薄膜/铝基衬底界面性能的影响

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ボンバード時に形成される中間層がどのように生成し，それが薄膜の状態に与える影響を明らかにすることは，密着性を改善する上で非常に重要となる．そこで本研究では，イオンボンバード条件がAl基板最表面の性状に与える効果に着目し，基板最表面の性状変化が密着性に及ぼす影響を検討した．

机译：改善粘合性是非常重要的，以改善在轰击时形成的中间层的影响和薄膜的状态。因此，在本研究中，我们专注于离子轰击条件对Al底物的最外表面的性质的影响，并检查了上表面表面对粘附性的表征变化的影响。

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来源
《日本機械学会年次大会》|2007年||共2页
会议地点
作者
石川智之; 米倉大介; 村上理一;
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正文语种
中图分类 TH-53;
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