垂直観測型エリプソメトリー顕微鏡を用いたナノすきま潤滑における潤滑膜の状態変化の観測

摘要

近年の加工技術の発展に伴い，機械要素間のしゅう動すきまは狭小化が進hでおり，微小すきまにおける潤滑技術がますます重要となっている．しかし，ナノメートルオーダのすきま（ナノすきま）に閉じ込められた液体潤滑剤は，バルク状態とは異なる特性を示すことが知られている．また，往復加振した光ファイバープローブを用いた，ナノすきまにおける合成潤滑油ポリ-α-オレフィン(PAO)の粘弾性測定の結果，すきまが約100nmを下回ると潤滑油の粘性が徐々に増加し，約10nm以下においては弾性を有することが報告されている．これは，潤滑剤が固体表面間に閉じ込めおよびせh断されることで，バルク液体から固体状態に変化することが示唆されるが，そのメカニズムは未解明である．ここで，しゅう動中の潤滑剤の状態変化の観測には，すきまの二次元分布（すきま形状）のリアルタイム計測が有効である．