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微波椭偏法测量不透明材料的厚度

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摘要

在传统的激光椭偏法测量厚度的基础上,用微波取代激光测量了不透明材料的厚度.分析了偏转角及反射干扰产生的误差,并提出了修正方法.测量结果表明:该方法可以比较精确地测量铝板和塑料板的厚度;由于散射的影响,表面磨砂的有机玻璃板的厚度测量误差很大.

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来源
《物理实验》 |2011年第2期|6-10|共5页
作者
张亮; 曹力丹; 潘永华; 高惠滨;
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作者单位

南京大学材料科学与工程系,江苏,南京,210093;

南京大学匡亚明学院,理科强化部,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏,南京,210093;

南京大学物理系,江苏,南京,210093;

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原文格式 PDF
正文语种 chi
中图分类几何光学;
关键词
厚度; 不透明材料; 椭圆偏振法; 微波;

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